四合院：我是雨水表哥
第506章 微米雄心

金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。

封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。

键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。

哈工大的周工正在一台一台检查。

吕辰凑上去：“周工，怎么样？”

周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”

吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。

芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。

他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。

翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。

吕辰把芯片放回去，继续往前走。

走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。

光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。

这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。

走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。

那是新产线的“心脏”。

一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。

配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。

发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。

再往里走，是飞轮储能系统。

一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。

吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。

脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。

看完电力系统，又去看超纯水系统。

超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。

自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。

技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。

“吕工，您尝尝。”

吕辰接过来，喝了一口。

水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。

“好水。”

吕辰点点头，又去看特种气体系统。

高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。

气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。

每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。

安全措施做得一丝不苟。

最后是空调净化系统。

巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。

风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。

温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。

吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。

电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。

看完动力中心，已经十一点半了。

十二点整，所有人回到会议室。

陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。

“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”

柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”

他合上本子，看着陈光远。

“动力中心，验收通过。”

陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。

顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”

陈光远点点头，看向刘高工。

刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”

他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”

陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。

不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”

他顿了顿，声音提高了一些。

“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”

他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。

“各位，有没有问题？”

“没有。”

“好，散会。”

众人站起来，收拾东西往外走。

吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。

阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。