四合院：我是雨水表哥
第506章 微米雄心

仪器的面板上，贴着一张手写的“使用记录表”，上面密密麻麻记着日期、使用者、使用时长、设备状态。

最后一栏是“设备状态”，每一行都写着“正常”，字迹工整，签名清晰。

“谁负责这台设备？”吕辰问。

“戚工。”顾赟喊了一声。

一名穿着洁净服的中年人走了过来，手里拿着一个文件夹。

他从文件夹里抽出一张表格，递给吕辰。

“这台设备娇贵得很，对环境要求特别高。温度波动超过0.5度，它就不稳定；振动稍微大一点，曝光就偏了。我每天早晚各检查一次，记录温湿度和设备参数。”

吕辰接过，是一张设备日常点检表，上面列了几十项检查内容，每一项后面都写着检查结果和检查人签名。

从表格上的记录看，从设备安装到现在，没有一天漏检。

吕辰把表格还给他，又问：“操作人员培训了吗？”

“培训了。”戚工翻开文件夹，“这是培训记录。我们一共培训了12个人，每个人都要通过理论和实操考核才能上岗。考核不过的，继续培训，直到过关为止。”

他把文件夹递过来，吕辰翻了翻。

每一页都贴着考核试卷和实操评分表，红笔批改，分数清清楚楚。

12个人里，有3个人第一次考核没通过，补考后才过关。

补考的那几页，试卷上密密麻麻写满了批注，错在哪儿、为什么错、怎么改，写得明明白白。

吕辰把文件夹合上，还给戚工。

“设备、人员、制度，都没问题。但有一个地方，我想再看看。”

“哪里？”

“洁净区的颗粒物检测记录。”

顾赟点点头：“跟我来。”

他领着吕辰走到洁净区的入口，从墙上取下一本厚厚的记录本，递给他。

“这是洁净区的颗粒物检测记录，每天检测三次，早中晚各一次。检测点位覆盖整个洁净区，每个点位的数据都有记录。”

吕辰翻开记录本，一页一页地看。

数据记录得很详细，日期、时间、检测点位、颗粒物浓度（≥0.5微米、≥5微米）、检测人、复核人，每一项都填得工工整整。

从记录上看，洁净区的颗粒物浓度一直稳定在Class 96的标准以内，有些点位甚至达到了Class 10的水平。

吕辰翻到最后一页，是上个月的汇总表。

表格里统计了所有检测点位的平均值、最大值、最小值，还画了一张趋势图，颗粒物浓度的变化曲线平稳，没有异常波动。

“这个汇总表是谁做的？”吕辰问。

“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”

他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。

“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”

吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。

他把记录本合上，放回墙上。

“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”

顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”

“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”

两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。

下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”

顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”

吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”

顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”

他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”

“光阴极管？夜视仪？”

顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”

他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”

吕辰点点头，没说话。

两人出了产品中心，往制造中心走。

三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。

目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。

走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。

吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。

车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。

地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。

天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。

车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。

最前面是光刻区，GCA301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。

机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。

郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。

吕辰走过去，站在旁边看。

刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。

“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”

陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”

刘高工没说话，继续弯腰检查。

郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。

“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”

陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”

吕辰沿着生产线往前走。

光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。

每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。

设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。

再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。

炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。

离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。