四合院：我是雨水表哥
第281章 光学圣地

旁边还有水冷机，水管蜿蜒连接到机器内部。

透过正面的厚玻璃观察窗，能看到内部结构：圆形的工作台，上方悬吊的镜筒，侧面的光源痕迹。

“整体结构半封闭。”陈光远介绍，“内部需保持洁净。操作时，把涂有感光胶的玻璃基板放工作台上，关门，抽真空或充氮气，然后曝光。”

张工拿来一块玻璃片放在显微镜下：“这是曝光测试结果。”

吕辰凑到目镜前。视野里是密密麻麻的线条图案，线宽约5微米。但线条边缘不直，有微小波浪起伏；宽度不均匀；有些地方线条断了。

“5微米线宽测试图形。”张工说，“问题很多：线条边缘粗糙，宽度波动超30%；局部断线；不同区域线条宽度差异——曝光不均匀导致的。”

王工指着另一块玻璃片：“这是两次曝光的结果，先刻水平线，再刻竖直线，理论上应形成完美网格。但你们看。”

吕辰再看，水平线和竖直线交叉形成网格，但交叉点不对齐，有的偏移，有的完全错开，网格歪歪扭扭。

“平均偏移3微米，最大8微米。”王工叹气，“这个误差对集成电路是致命的。”

陈光远总结：“工作台定位重复精度不够；温度变化导致热胀冷缩；振动干扰……很多问题理论上知道解决方案，但实际做起来，要材料、要工艺、要设备，更要时间和经验。”

实验室安静下来，只有原型机内部隐约的风扇声和水冷机运行声。

这是中国第一代光刻机雏形，粗糙、不稳定、精度有限，但它代表一种方向，一种从无到有的突破。